發(fā)布時間: 2024-09-22 點(diǎn)擊次數(shù): 133次
掃描電子顯微鏡(SEM)是一種高分辨率的顯微鏡,廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、生物學(xué)、電子學(xué)等領(lǐng)域。為了獲得高質(zhì)量的圖像,樣品的前處理至關(guān)重要,其中噴金儀作為一種常用的前處理設(shè)備,能夠有效提高樣品的導(dǎo)電性和成像質(zhì)量。噴金儀的工作原理是利用物理氣相沉積(PVD)技術(shù),將金屬材料(通常是金或鉑)以原子級別的薄膜形式沉積在樣品表面。
1.真空腔:用于提供真空環(huán)境,確保金屬原子能夠自由沉積。
2.金屬靶材:提供沉積材料,常用的有金、鉑、鉻等。
3.電源系統(tǒng):為靶材提供高能量電源,激發(fā)金屬蒸發(fā)。
4.樣品架:用于固定待處理樣品,確保其在沉積過程中穩(wěn)定。
5.控制系統(tǒng):用于監(jiān)控和調(diào)節(jié)沉積過程中的參數(shù),如真空度、沉積時間等。
噴金儀的應(yīng)用:
1.提高導(dǎo)電性:非導(dǎo)電樣品(如聚合物、生物樣品等)在電子束照射下容易產(chǎn)生電荷積累,導(dǎo)致圖像失真。噴金可以有效提高樣品的導(dǎo)電性,減少電荷積累現(xiàn)象。
2.改善成像質(zhì)量:金屬薄膜的沉積可以增強(qiáng)樣品表面的反射能力,提高成像對比度和分辨率。
3.保護(hù)樣品:噴金形成的金屬層可以在一定程度上保護(hù)樣品表面,防止在電子束照射下的損傷。
掃描電鏡樣品前處理噴金儀的的操作步驟:
1.準(zhǔn)備樣品:將待處理樣品清洗干凈,確保表面無污染物。
2.安裝樣品:將樣品固定在樣品架上,確保其穩(wěn)定。
3.設(shè)置真空:啟動噴金儀,抽真空至所需的真空度(通常為10^-3至10^-5Torr)。
4.選擇靶材:根據(jù)實(shí)驗(yàn)需求選擇合適的金屬靶材。
5.調(diào)整參數(shù):設(shè)置沉積時間、功率等參數(shù),確保沉積過程的均勻性。
6.開始沉積:啟動噴金過程,觀察沉積情況,確保金屬層均勻覆蓋樣品表面。
7.結(jié)束處理:沉積完成后,關(guān)閉設(shè)備,取出樣品,準(zhǔn)備進(jìn)行掃描電鏡觀察。